जमा करणे
अंतर्दृष्टी मिळवा आणि विकास प्रक्रियेला गती द्या.
अॅडव्हान्स्ड एनर्जी गंभीर पातळ फिल्म डिपॉझिशन अॅप्लिकेशन्स आणि डिव्हाइस भूमितींसाठी पॉवर सप्लाय आणि कंट्रोल सोल्यूशन्स प्रदान करते. वेफर प्रोसेसिंग आव्हाने सोडवण्यासाठी, आमचे अचूक पॉवर कन्व्हर्जन सोल्यूशन्स तुम्हाला पॉवर अचूकता, अचूकता, वेग आणि प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता ऑप्टिमाइझ करण्याची परवानगी देतात.
आम्ही RF फ्रिक्वेन्सीज, DC पॉवर सिस्टीम, कस्टमाइज्ड पॉवर आउटपुट लेव्हल्स, मॅचिंग टेक्नॉलॉजीज आणि फायबर ऑप्टिक तापमान निरीक्षण उपायांची विस्तृत श्रेणी ऑफर करतो जे तुम्हाला प्रक्रिया प्लाझ्मा अधिक चांगल्या प्रकारे नियंत्रित करण्यास सक्षम करतात. प्रक्रिया अंतर्दृष्टी प्रदान करण्यासाठी आणि विकास प्रक्रियेला गती देण्यासाठी आम्ही फास्ट DAQ™ आणि आमचा डेटा अधिग्रहण आणि प्रवेशयोग्यता सूट देखील एकत्रित करतो.
तुमच्या गरजेनुसार उपाय शोधण्यासाठी आमच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियांबद्दल अधिक जाणून घ्या.
तुमचे आव्हान
एकात्मिक सर्किटच्या परिमाणांचे नमुने तयार करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या फिल्म्सपासून ते कंडक्टिव्ह आणि इन्सुलेशन फिल्म्स (इलेक्ट्रिकल स्ट्रक्चर्स), मेटल फिल्म्स (इंटरकनेक्शन) पर्यंत, तुमच्या डिपॉझिशन प्रक्रियांना अणु-स्तरीय नियंत्रण आवश्यक आहे - केवळ प्रत्येक वैशिष्ट्यासाठीच नाही तर संपूर्ण वेफरमध्ये.
संरचनेव्यतिरिक्त, तुमच्या जमा केलेल्या फिल्म्स उच्च दर्जाच्या असाव्यात. त्यांच्याकडे इच्छित धान्य रचना, एकरूपता आणि सुसंगत जाडी असणे आवश्यक आहे आणि ते शून्यतामुक्त असले पाहिजेत - आणि त्याव्यतिरिक्त आवश्यक यांत्रिक ताण (संकुचित आणि तन्य) आणि विद्युत गुणधर्म प्रदान करणे देखील आवश्यक आहे.
गुंतागुंत वाढतच जाते. लिथोग्राफी मर्यादा (सब-१X एनएम नोड्स) दूर करण्यासाठी, स्वयं-संरेखित दुहेरी आणि चौपट पॅटर्निंग तंत्रांमध्ये प्रत्येक वेफरवर पॅटर्न तयार करण्यासाठी आणि पुनरुत्पादित करण्यासाठी तुमच्या डिपॉझिशन प्रक्रियेची आवश्यकता असते.
आमचा उपाय
जेव्हा तुम्ही सर्वात महत्त्वाचे डिपॉझिशन अॅप्लिकेशन्स आणि डिव्हाइस भूमिती वापरता तेव्हा तुम्हाला एका विश्वासार्ह मार्केट लीडरची आवश्यकता असते.
अॅडव्हान्स्ड एनर्जीची आरएफ पॉवर डिलिव्हरी आणि हाय-स्पीड मॅचिंग तंत्रज्ञान तुम्हाला सर्व प्रगत PECVD आणि PEALD डिपॉझिशन प्रक्रियांसाठी आवश्यक असलेली पॉवर अचूकता, अचूकता, वेग आणि प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता कस्टमाइझ आणि ऑप्टिमाइझ करण्यास सक्षम करते.
तुमच्या कॉन्फिगर करण्यायोग्य आर्क रिस्पॉन्स, पॉवर अचूकता, वेग आणि आवश्यक असलेल्या पीव्हीडी (स्पटरिंग) आणि ईसीडी डिपॉझिशन प्रक्रियांना फाइन-ट्यून करण्यासाठी आमच्या डीसी जनरेटर तंत्रज्ञानाचा वापर करा.
फायदे
● प्लाझ्मा स्थिरता आणि प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता वाढवते ज्यामुळे उत्पादन वाढते.
● पूर्ण डिजिटल नियंत्रणासह अचूक आरएफ आणि डीसी वितरण प्रक्रिया कार्यक्षमता ऑप्टिमाइझ करण्यास मदत करते.
● प्लाझ्मा बदल आणि चाप व्यवस्थापनास जलद प्रतिसाद
● अ‍ॅडॉप्टिव्ह फ्रिक्वेन्सी ट्यूनिंगसह मल्टी-लेव्हल पल्सिंगमुळे एच रेट निवडकता सुधारते.
● जास्तीत जास्त अपटाइम आणि उत्पादन कामगिरी सुनिश्चित करण्यासाठी जागतिक समर्थन उपलब्ध आहे.