डिपॉझिशन
अंतर्दृष्टी मिळवा आणि विकास प्रक्रियेला गती द्या.
प्रगत ऊर्जा क्रिटिकल थिन फिल्म डिपॉझिशन ॲप्लिकेशन्स आणि डिव्हाइस भूमितींसाठी वीज पुरवठा आणि नियंत्रण उपाय वितरीत करते.वेफर प्रोसेसिंग आव्हाने सोडवण्यासाठी, आमची अचूक पॉवर कन्व्हर्जन सोल्यूशन्स तुम्हाला पॉवर अचूकता, अचूकता, गती आणि प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता ऑप्टिमाइझ करण्याची परवानगी देतात.
आम्ही RF फ्रिक्वेन्सी, DC पॉवर सिस्टम, सानुकूलित पॉवर आउटपुट स्तर, जुळणारे तंत्रज्ञान आणि फायबर ऑप्टिक तापमान मॉनिटरिंग सोल्यूशन्सची विस्तृत श्रेणी ऑफर करतो जे तुम्हाला प्रक्रिया प्लाझ्मा अधिक चांगल्या प्रकारे नियंत्रित करण्यास खरोखर सक्षम करतात.प्रक्रिया अंतर्दृष्टी प्रदान करण्यासाठी आणि विकास प्रक्रियेला गती देण्यासाठी आम्ही फास्ट DAQ™ आणि आमचा डेटा संपादन आणि प्रवेशयोग्यता संच देखील एकत्रित करतो.
तुमच्या गरजेनुसार समाधान शोधण्यासाठी आमच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेबद्दल अधिक जाणून घ्या.
तुमचे आव्हान
पॅटर्न इंटिग्रेटेड सर्किट डायमेन्शन्ससाठी वापरल्या जाणाऱ्या फिल्म्सपासून ते कंडक्टिव्ह आणि इन्सुलेटिव्ह फिल्म्स (इलेक्ट्रिकल स्ट्रक्चर्स), मेटल फिल्म्स (इंटरकनेक्शन) पर्यंत, तुमच्या डिपॉझिशन प्रक्रियेस अणु-स्तरीय नियंत्रण आवश्यक असते — केवळ प्रत्येक वैशिष्ट्यासाठीच नाही तर संपूर्ण वेफरवर.
संरचनेच्या पलीकडे, तुमचे जमा केलेले चित्रपट उच्च दर्जाचे असले पाहिजेत.त्यांच्याकडे इच्छित धान्य रचना, एकसमानता आणि कॉन्फॉर्मल जाडी असणे आवश्यक आहे आणि ते शून्य-मुक्त असणे आवश्यक आहे - आणि ते आवश्यक यांत्रिक ताण (संकुचित आणि तन्य) आणि विद्युत गुणधर्म प्रदान करण्याव्यतिरिक्त आहे.
गुंता वाढतच जातो.लिथोग्राफी मर्यादा (सब-1एक्स एनएम नोड्स) संबोधित करण्यासाठी, स्व-संरेखित दुहेरी आणि चौपदरी पॅटर्निंग तंत्रांसाठी प्रत्येक वेफरवर नमुना तयार करण्यासाठी आणि पुनरुत्पादित करण्यासाठी आपल्या डिपॉझिशन प्रक्रियेची आवश्यकता असते.
आमचे समाधान
जेव्हा तुम्ही सर्वात गंभीर डिपॉझिशन ॲप्लिकेशन्स आणि डिव्हाइस भूमिती तैनात करता तेव्हा तुम्हाला विश्वासार्ह मार्केट लीडरची आवश्यकता असते.
प्रगत एनर्जीचे RF पॉवर डिलिव्हरी आणि हाय-स्पीड मॅचिंग तंत्रज्ञान तुम्हाला सर्व प्रगत PECVD आणि PEALD डिपॉझिशन प्रक्रियेसाठी आवश्यक पॉवर अचूकता, अचूकता, वेग आणि प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता सानुकूलित आणि ऑप्टिमाइझ करण्यास सक्षम करते.
तुमचा कॉन्फिगर करण्यायोग्य चाप प्रतिसाद, पॉवर अचूकता, वेग आणि प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता आवश्यक PVD (स्पटरिंग) आणि ECD डिपॉझिशन प्रक्रिया उत्तम ट्यून करण्यासाठी आमच्या DC जनरेटर तंत्रज्ञानाचा वापर करा.
फायदे
● वर्धित प्लाझ्मा स्थिरता आणि प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता उत्पन्न वाढवते
● संपूर्ण डिजिटल नियंत्रणासह अचूक RF आणि DC वितरण प्रक्रियेची कार्यक्षमता ऑप्टिमाइझ करण्यात मदत करते
● प्लाझ्मा बदल आणि चाप व्यवस्थापनास जलद प्रतिसाद
● ॲडॉप्टिव्ह फ्रिक्वेंसी ट्यूनिंगसह मल्टी-लेव्हल पल्सिंग नक्षी दर निवडकता सुधारते
● कमाल अपटाइम आणि उत्पादन कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करण्यासाठी जागतिक समर्थन उपलब्ध आहे