हे आरएलएस मालिका आरएफ पॉवर सप्लायमध्ये रुपांतरित केले जाऊ शकते आणि प्लाझ्मा एचिंग, कोटिंग, प्लाझ्मा क्लीनिंग, प्लाझ्मा डिगमिंग आणि इतर प्रक्रियांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.एकट्याने वापरल्यास, ते इतर उत्पादकांच्या RF पॉवर सप्लायसह एकत्र वापरले जाऊ शकते.